技術(shù)特點(diǎn)
- 針對(duì)異質(zhì)結(jié)電池片銅柵線工藝的圖形化需求，專門設(shè)計(jì)了一款投影掃描光刻系統(tǒng)，具有快速光刻、分辨率好、大焦深的特點(diǎn)，采用405nm光纖激光光源，非常適合在光伏專用感光油墨上進(jìn)行曝光，實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)的槽型結(jié)構(gòu)。配置了CCD識(shí)別基片糾偏系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)30μm對(duì)準(zhǔn)精度。
- 該投影掃描光刻模式，采用較低成本的普通掩模版作為圖形輸入，且具有曝光均勻性與一致性好、工藝窗口大、對(duì)基片厚度誤差適應(yīng)性高、便于與前后道設(shè)備組線的優(yōu)點(diǎn)，是光伏圖形化的理想解決方案。
規(guī)格參數(shù)
* 具體指標(biāo)因工藝差異有所不同
采用拋光基片，負(fù)光刻膠的光刻結(jié)果
采用光伏鍍銅基片，感光油墨的光刻結(jié)果
